衬底偏压对VC纳米薄膜摩擦学性能的影响

• 作者: 徐强 杨光敏 白继鹏 秦宏宇
• 来源期刊: 吉林大学学报（理学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 衬底偏压 薄膜 力学性能
• 年，卷（期）: 2016,（4）
• 所属期刊栏目: 材料科学
• 页码范围: 883-886
• 页数: 4页
• 分类号: TB383
• 字数: 1399字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13413/j.cnki.jdxblxb.2016.04.37

摘要

采用磁控溅射技术，通过改变衬底偏压在室温下制备系列 VC 薄膜，并考察衬底偏压对VC薄膜晶体结构、硬度及摩擦磨损性能的影响，建立相互间的内在联系。结果表明，随着衬底偏压的增高，薄膜的晶粒逐渐细化，薄膜硬度逐渐增大，耐磨损性能得到提高，摩擦系数变化较小。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	秦宏宇	长春工程学院勘查与测绘工程学院	52	32	3.0	3.0
2	徐强	长春工程学院勘查与测绘工程学院	56	41	3.0	3.0
3	杨光敏	长春师范大学物理学院	51	78	4.0	7.0
7	白继鹏	吉林大学材料科学与工程学院	2	1	1.0	1.0