沉积温度对 VC 纳米薄膜摩擦学性能的影响

• 作者: 徐强 杨光敏 白继鹏 秦宏宇
• 来源期刊: 吉林大学学报（理学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 基底温度 薄膜 摩擦学性能 碳化钒纳米薄膜
• 年，卷（期）: 2016,（2）
• 所属期刊栏目: 材料科学
• 页码范围: 378-381
• 页数: 4页
• 分类号: TB383
• 字数: 1142字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13413/j.cnki.jdxblxb.2016.02.39

摘要

采用磁控溅射技术沉积碳化钒(VC)纳米薄膜，研究温度对 VC 薄膜的微观结构、力学及摩擦磨损性能的影响，并分析其内在关系。结果表明，沉积温度升高对 VC 薄膜的相结构和摩擦系数影响较小，有利于降低薄膜中的应力和粗糙度，可提高薄膜的硬度。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	秦宏宇	长春工程学院勘查与测绘工程学院	52	32	3.0	3.0
2	徐强	长春工程学院勘查与测绘工程学院	56	41	3.0	3.0
3	杨光敏	长春师范大学物理学院	51	78	4.0	7.0
7	白继鹏	吉林大学材料科学与工程学院	2	1	1.0	1.0