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摘要：
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面向IC制造的硅片机器人传输系统综述
集成电路
硅片机器人传输系统
硅片机器人
预对准装置
基于弧焊机器人的柔性再制造系统
柔性再制造
机器人
激光视觉
建模
离线编程
面向金属模具快速制造的机器人成型加工系统
工业机器人
快速制模
成型加工
铣削
等离子熔射
进化机器人
进化
进化机器人
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期刊影响力
科技纵览
主办单位：
中国科学技术信息研究所
科学技术文献出版社
出版周期：
月刊
ISSN：
2095-4409
CN：
10-1080/N
开本：
出版地：
北京市海淀区复兴路15号
邮发代号：
创刊时间：
语种：
chi
出版文献量（篇）
1739
总下载数（次）
5
总被引数（次）
48
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