光学非球面面形非零位检测的回程误差校正

• 作者: 刘东 师途 张磊 杨甬英 沈亦兵 白剑 种诗尧 臧仲明 苗亮 黄玮
• 来源期刊: 光学学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 测量 干涉 非球面检测 非零位 回程误差 校正方法
• 年，卷（期）: 2016,（8）
• 所属期刊栏目: 仪器,测量与计量
• 页码范围: 147-157
• 页数: 11页
• 分类号: O436.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/AOS201636.0812006

摘要

光学非球面面形的非零位检测较零位检测而言具有更强的通用性.详细分析了非球面非零位检测中回程误差的产生机理,结合校正方法将其分为可预知回程误差和不可预知回程误差两部分,分析其对最终检测结果的影响.然后介绍了实际检测中常用的回程误差校正方法的原理,通过仿真实验对比各种方法对不同非球面度、不同面形误差大小的被测非球面的校正效果,并结合方法原理和仿真结果分析了不同方法的回程误差校正能力,总结其适用范围.