射频功率对氢气与反式二丁烯的低压电感耦合等离子体的影响

• 作者: 何小珊 何智兵 唐永建 张玲 陈果
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 物理学
• 关键词: GDP 薄膜 朗缪尔探针 质谱仪 等离子体诊断
• 年，卷（期）: 2016,（9）
• 所属期刊栏目: ICF 与激光等离子体
• 页码范围: 092004-1-092004-6
• 页数: 1页
• 分类号: O539
• 语种: 中文
• DOI: 10.11884/HPLPB201628.160078

摘要

利用等离子体聚合技术制备的 GDP 壳层是目前 ICF 靶丸的主要烧蚀层材料。为了了解 GDP 薄膜沉积过程中的CH 等离子体的状态,采用朗缪尔探针和质谱仪对 C4 H 8/H 2等离子体的组分和状态参数进行了诊断,并对等离子体的电子能量分布函数、电子密度、电子温度等进行了深入分析。同时讨论了等离子体状态与放电参数之间的关系。研究发现,射频功率对等离子体参数有明显的影响。从10 W 到35 W,电子密度正比于射频功率。随着射频功率的增加,在两步电离机制作用下,电子温度和等离子体电势呈现先减小后增大的变化趋势。另外,在高气压下,质谱诊断中发现了大量的稳定的小质量碎片离子,这表明在高气压下等离子体气相中的离子碎片聚合反应被抑制。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	唐永建	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	281	2334	24.0	31.0
2	张玲	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	39	88	5.0	7.0
3	何智兵	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	46	212	7.0	11.0
4	陈果	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	6	6	1.0	2.0
5	何小珊	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	15	26	4.0	4.0