用于晶圆刷洗的同心卡接机构设计

• 作者: 李嘉浪 熊朋 蒲继祖 费玖海 陶利权
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: CMP后清洗 晶圆刷洗 同心卡接机构
• 年，卷（期）: 2017,（1）
• 所属期刊栏目: 电子专用设备研究
• 页码范围: 53-55
• 页数: 3页
• 分类号: TN305
• 字数: 944字
• 语种: 中文

摘要

在CMP后清洗工艺过程中,往往需要对机刷进行快速更换.针对以上需求,设计了一种用于晶圆刷洗的同心卡接机构,很好地解决了机刷更换过程同心度存在偏差及更换不便的问题,改善了晶圆表面清洗的效果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蒲继祖	中国电子科技集团公司第四十五研究所	5	0	0.0	0.0
2	费玖海	中国电子科技集团公司第四十五研究所	6	12	3.0	3.0
3	熊朋	中国电子科技集团公司第四十五研究所	4	1	1.0	1.0
4	李嘉浪	中国电子科技集团公司第四十五研究所	3	0	0.0	0.0
5	陶利权	中国电子科技集团公司第四十五研究所	1	0	0.0	0.0