基于铝酸镁尖晶石材料的化学机械抛光工艺技术研究

• 作者: 付秀华 刘冬梅 李晓 贾宗合 郭贵新
• 来源期刊: 长春理工大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 铝酸镁尖晶石 抛光效率 工艺因素 表面质量
• 年，卷（期）: 2017,（1）
• 页码范围: 47-50,59
• 页数: 5页
• 分类号: TH706
• 字数: 3244字
• 语种: 中文

摘要

透明铝酸镁尖晶石(MgAl2O4)具有优异的光学性能,随着光电技术的发展,铝酸镁尖晶石的需求量日益增加,对其表面质量也提出更高的要求.分析了铝酸镁尖晶石材料的特性,针对铝酸镁尖晶石材料硬度大,加工效率低等难点,依据普林斯顿方程加工理论,采用化学机械方法对镁铝尖晶石进行抛光.通过实验研究了影响铝酸镁尖晶石研抛工艺过程的因素并对工艺参数进行了优化,使铝酸镁尖晶石表面质量及加工效率得到了有效提高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	付秀华	长春理工大学光电工程学院	141	525	11.0	15.0
2	贾宗合	长春理工大学光电工程学院	16	49	4.0	6.0
3	刘冬梅	长春理工大学光电工程学院	49	107	5.0	8.0
4	李晓	长春理工大学光电工程学院	8	11	2.0	3.0
5	郭贵新	长春理工大学光电工程学院	4	13	2.0	3.0