非晶ZnTiSnO薄膜的溶液燃烧法制备与TFT器件性能

• 作者: 冯丽莎 叶志镇 吕建国 江庆军
• 来源期刊: 材料科学与工程学报
• 学科: 工学
• 关键词: 溶液燃烧法 ZnTiSnO薄膜 非晶态 薄膜晶体管
• 年，卷（期）: 2017,（2）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 177-180
• 页数: 4页
• 分类号: TN321+.5
• 字数: 2901字
• 语种: 中文
• DOI: 10.14136/j.cnki.issn 1673-2812.2017.02.002

摘要

本文采用溶液燃烧法,在较低温度下成功制备出非晶ZnTiSnO(ZTTO)薄膜,用作沟道层制备薄膜晶体管(TFT).研究了Ti掺人对薄膜的结构、光学性能、元素化学态以及对TFT器件电学性能影响.研究结果表明,所制得的ZTTO薄膜均为非晶结构,可见光透过率大于84％;适量Ti的掺入可作为载流子抑制剂有效降低薄膜中的氧空位缺陷浓度,从而提升TFT器件性能.当Zn/Ti摩尔百分比为30/1时,ZTTO TFT性能良好,开关比可达3.54×105.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	叶志镇	浙江大学材料科学与工程学院	155	1638	21.0	35.0
2	吕建国	浙江大学材料科学与工程学院	35	769	12.0	27.0
3	冯丽莎	浙江大学材料科学与工程学院	1	2	1.0	1.0
4	江庆军	浙江大学材料科学与工程学院	1	2	1.0	1.0