双波段芯片集成封装组件的低温光谱定量化

• 作者: 刘大福 吴家荣 季鹏 张亚妮 张麟 徐勤飞 王仍 蒋梦蝶 龚海梅
• 来源期刊: 中国光学
• 学科: 工学
• 关键词: 光谱定量化 探测器组件 低温光谱 物理隔离 光学串扰
• 年，卷（期）: 2017,（6）
• 所属期刊栏目: 光谱学和光谱仪器
• 页码范围: 744-751
• 页数: 8页
• 分类号: TN215
• 字数: 4173字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CO.20171006.0744

摘要

在同一组件中多芯片多波段的应用中,由于芯片的中心距越来越小,导致某些相邻波段通常被集成制备到一个芯片上.为减小波段串扰,本文针对一体化双波段芯片集成封装组件的低温光谱定量化展开研究,通过制备一体化双波段芯片集成封装组件,并通过波段间物理隔离、金属区物理遮盖等措施将两波段的光束隔离.测试结果表明隔离前后,芯片间光谱串光现象有了明显改善,波段间串扰从8%降到了4%以内,光谱带外响应从6.5%降低至0.78%.为了避免低温工况下物理隔离条与芯片的热失配问题,隔离条采用与芯片衬底完全一致材料.双波段芯片集成封装组件的高低温冲击试验表明,其在有效抑制组件内串扰的同时,也解决了组件内关键部件的热失配问题.