成型压力对GZO陶瓷靶材无压烧结致密化的影响

• 作者: 叶林龙 姜礼华 孙宜华 常宝成 方亮 李明明
• 来源期刊: 三峡大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: GZO靶材 成型压力 无压烧结 致密化
• 年，卷（期）: 2017,（3）
• 所属期刊栏目: 化学与生命科学
• 页码范围: 104-107
• 页数: 4页
• 分类号: TQ174
• 字数: 3388字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13393/j.cnki.issn.1672-948X.2017.03.023

摘要

采用模压成型-无压烧结法制备Ga掺杂量为3wt％的氧化锌陶瓷靶材(ZnO∶Ga2O3=97∶3 wt％).分析研究了成型压力对靶材致密度、物相组成、微观结构及烧结收缩变化率的影响.采用X射线衍射仪分析物相组成,扫描电镜观测烧结体断口形貌,用热膨胀仪分析试样烧结收缩曲线,阿基米德排水法测量试样密度.结果表明:成型压力对GZO靶材烧结时生成ZnGa2 O4的固相反应有促进作用,并且当成型压力由120 MPa提高到200MPa时,固相反应生成更多的ZnGa2O4尖晶石相导致GZO陶瓷烧结致密所需的温度也有所提高.成型压力为200 MPa时靶材致密度最高,相对密度达93.54 ％TD.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	叶林龙	三峡大学材料与化工学院无机非金属晶态与能源转换材料重点实验室	1	0	0.0	0.0
2	孙宜华	三峡大学材料与化工学院无机非金属晶态与能源转换材料重点实验室	15	53	4.0	7.0
3	方亮	三峡大学材料与化工学院无机非金属晶态与能源转换材料重点实验室	4	3	1.0	1.0
4	常宝成		2	1	1.0	1.0
5	姜礼华	三峡大学材料与化工学院无机非金属晶态与能源转换材料重点实验室	11	18	3.0	3.0
6	李明明	三峡大学材料与化工学院	1	0	0.0	0.0