反应气体流量比对PECVD类金刚石薄膜机械性能的影响

• 作者: 吴法宇 周艳文 李建伟 李瑞武 牛文杰 范巍 郭媛媛
• 来源期刊: 辽宁科技大学学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 类金刚石薄膜 PECVD技术 气体流量比 机械性能
• 年，卷（期）: 2018,（2）
• 所属期刊栏目: 材料与冶金工程
• 页码范围: 118-123
• 页数: 6页
• 分类号: O484.2
• 字数: 2965字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13988/j.ustl.2018.02.006

摘要

实验研究了不同乙炔与氩气流量比R对脉冲等离子体增强化学气相沉积(PECVD)类金刚石薄膜的沉积速率、AFM形貌、膜基结合强度、纳米压痕硬度以及弹性模量的影响.结果表明:薄膜沉积速率随C2H2流量的增大而增大,在R为4:1时沉积速率达到最大0.8μm/h;不同气体流量比下薄膜的表面形貌均光滑致密,纳米硬度是316L不锈钢基体的3倍以上;R为3:1时,Raman光谱ID/IG值为最小,对应此流量比下的最高纳米硬度16.1 GPa,且粗糙度最低,摩擦系数为0.206.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	牛文杰	鞍钢集团矿业设计研究有限公司工艺设计研究所	20	27	3.0	4.0
2	周艳文	辽宁科技大学材料与冶金学院	46	32	3.0	5.0
3	吴法宇	辽宁科技大学材料与冶金学院	14	10	2.0	2.0
4	范巍		4	1	1.0	1.0
5	郭媛媛	辽宁科技大学材料与冶金学院	16	7	2.0	2.0
6	李建伟	辽宁科技大学材料与冶金学院	3	0	0.0	0.0
7	李瑞武	辽宁科技大学材料与冶金学院	5	2	1.0	1.0