高温高能特种离子注入机靶室控制系统设计

• 作者: 蔡先武 钟新华
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: CompactRIO嵌入式实时控制器 剂量控制器 束流与剂量测量 均匀性控制
• 年，卷（期）: 2018,（1）
• 所属期刊栏目: 半导体制造工艺与设备
• 页码范围: 14-20
• 页数: 7页
• 分类号: TN305
• 字数: 3627字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2018.01.005

摘要

提出了一种基于NI CompactRIO嵌入式实时控制器的高温高能离子注入机靶室控制系统;介绍了高温高能离子注入机的靶室控制系统主要功能、工作原理和系统组成.靶室控制系统采用NI CompactRIO实时测量与控制器作为靶室控制系统的主控制器,实现注入扫描运动控制、靶台加热控制和离子注入剂量及均匀性控制算法等.离子注入机的束流、剂量的采集和束的水平方向扫描控制通过基于单片机系统的剂量控制器来实现.其硬件构成和软件结构也作了详细的介绍.最后,通过实验验证了靶室控制系统的性能达到设计要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蔡先武		6	5	1.0	2.0
2	钟新华		1	0	0.0	0.0