NbF5前驱体化学气相沉积铌涂层的生长动力学

• 作者: 于晓东 李颖 谭成文 郑明珉 马红磊
• 来源期刊: 稀有金属材料与工程
• 学科: 工学
• 关键词: 铌涂层 化学气相沉积 生长动力学 副产物
• 年，卷（期）: 2018,（1）
• 所属期刊栏目: 材料科学
• 页码范围: 187-190
• 页数: 4页
• 分类号: TG146.4+16
• 语种: 中文

摘要

采用常压化学气相沉积方法在1150℃下成功制备了组织致密的金属铌涂层,沉积速率达到了250 μm/h.通过对沉积后沿进气方向涂层厚度分析,确定了不同位置NbF5、H2、HF及Ar的摩尔分数,对数据进行拟合获得了与实验结果吻合较好的生长动力学方程.进一步分析动力学方程可知副产物HF对于沉积速率影响较大而Ar几乎没有影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谭成文		49	459	13.0	19.0
2	于晓东		45	271	11.0	13.0
3	郑明珉		1	0	0.0	0.0
4	李颖		6	36	2.0	6.0
5	马红磊		3	14	2.0	3.0