双弯管磁过滤阴极真空弧技术沉积超厚多层钛掺杂类金刚石膜

• 作者: 刘建武 周晗 姜其立 庞盼 廖斌 王浩琦
• 来源期刊: 中国表面工程
• 学科: 工学
• 关键词: 超厚DLC膜 Ti掺杂 双弯管 磁过滤阴极真空弧沉积 C2H2
• 年，卷（期）: 2018,（3）
• 所属期刊栏目: 表面工程研究
• 页码范围: 53-60
• 页数: 8页
• 分类号: TG174.444
• 语种: 中文
• DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.20171201002

摘要

极端工况对关键部件涂层的性能要求较高,作为常用涂层,薄类金刚石(Diamond-like carbon,DLC)膜因其厚度的局限性已不能满足日益增长的性能需求,因此超厚DLC膜的制备工艺具有较大的现实意义.采用双弯管磁过滤阴极真空弧沉积技术制备多层Ti掺杂DLC膜,并通过显微维氏硬度计、摩擦磨损试验仪、场发射扫描电子显微镜(FESEM)、能谱仪(EDS)、透射电子显微镜(TEM)、X光电子能谱仪(xPs)、X射线衍射仪(XRD)、拉曼光谱仪(Raman)等对膜的结构和性能进行表征.结果表明:薄膜的沉积速率最高可达0.40 μm/min;随着沉积过程中C2H2流量的增加,Ti掺杂DLC膜中超硬TiC相的相对含量降低,因此导致膜硬度降低,同时热稳定性变差;通过金属掺杂以及多层复合结构的方法能够有效制备低内应力的DLC膜,同时实现超厚DLC膜(最高可达42.3 μm)的制备.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘建武	北京师范大学核科学与技术学院	22	215	7.0	14.0
3	姜其立	北京师范大学核科学与技术学院	6	0	0.0	0.0
7	王浩琦	北京师范大学核科学与技术学院	2	0	0.0	0.0
11	周晗	北京师范大学核科学与技术学院	2	0	0.0	0.0
15	庞盼		3	0	0.0	0.0