离子注入机减速偏转模块设计及仿真计算研究

• 作者: 岳腾 张丛 李红赛
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 离子注入机 低能 减速 能量污染
• 年，卷（期）: 2018,（3）
• 所属期刊栏目: 半导体装置工艺与设备
• 页码范围: 35-39
• 页数: 5页
• 分类号: TN305.3
• 字数: 2982字
• 语种: 中文

摘要

展示了一种应用于低能大束流离子注入机的消除能量污染的减速偏转模块的设计及仿真计算结果,重点介绍了设计思路和对一些关键因素相关的仿真计算结果的分析.仿真计算结果表明所设计的减速偏转模块具有足够的离子束控制能力.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张丛		2	0	0.0	0.0
2	李红赛		1	0	0.0	0.0
3	岳腾		1	0	0.0	0.0