钝化层对高压蒸汽试验中器件参数漂移的影响

• 作者: 韩兆芳 黄峥嵘
• 来源期刊: 电子与封装
• 学科: 工学
• 关键词: 钝化层 双极器件 HFE 高压蒸汽
• 年，卷（期）: 2018,（z1）
• 所属期刊栏目: 中科芯检测事业部第二届检测技术研讨会论文精选
• 页码范围: 60-63
• 页数: 4页
• 分类号: TN306
• 字数: 2606字
• 语种: 中文

摘要

采用SiO2钝化层的塑封双极晶体管在EIA/JESD22-A102-C规定的121℃、100％RH、29.7 psi压力的条件试验96 h后,直流增益HFE测试值会有明显的下降,击穿电压BV CEO会略有上升.分析表明高压水汽可以穿透封装和钝化层,造成芯片内部微缺陷增加,导致器件HFE下降,BV CEO略有上升.通过优化钝化层工艺并对比试验验证,采用SiO2加Si3N4的复合钝化层,可以避免器件参数漂移,改善器件抗潮湿性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	韩兆芳	中国电子科技集团公司第五十八研究所	5	2	1.0	1.0
2	黄峥嵘	中国电子科技集团公司第五十八研究所	3	7	1.0	2.0