基体温度对反应共溅射TiN/Ni纳米复合膜结构和耐蚀性的影响

• 作者: 付馨莹 王苓飞 贺春林 陈宏志 马国峰 高建君
• 来源期刊: 中国表面工程
• 学科: 工学
• 关键词: TiN/Ni 纳米复合膜 磁控反应共溅射 微结构 耐蚀性
• 年，卷（期）: 2018,（2）
• 所属期刊栏目: 表面工程研究
• 页码范围: 85-93
• 页数: 9页
• 分类号: TG174.444
• 语种: 中文
• DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.20170929002

摘要

为研究基体温度对纳米复合膜结构和耐蚀性的影响,以Ti和Ni为靶材,利用反应磁控共溅射技术在100～400℃温度下沉积了TiN/Ni纳米复合膜,采用XRD、XPS、AFM、FESEM/EDS、电化学技术和划痕试验表征研究复合膜的微结构、耐蚀性和膜基结合力.结果表明:该膜含有面心立方的TiN和Ni相,其择优取向由低温时的TiN(111)面转变为高温时的TiN(200)面.随温度增加,复合膜晶粒尺寸和均方根表面粗糙度先减小后增大,并在温度200℃时达最小.复合膜的界面结合力随温度增加先增大后下降,在300℃时达最大.复合膜具有优异的耐蚀性,其中300℃沉积的膜层腐蚀电流密度最小,较304不锈钢基体约小1个数量级.增加Ni含量有利于提高复合膜的耐蚀性.TiN/Ni纳米复合膜的腐蚀形式为薄膜的局部脱落,穿膜针孔等结构缺陷是引起TiN/Ni纳米复合膜腐蚀失效的根本原因.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马国峰	沈阳大学辽宁省先进材料制备技术重点实验室	34	110	5.0	8.0
2	贺春林	沈阳大学辽宁省先进材料制备技术重点实验室	51	351	12.0	16.0
3	陈宏志	沈阳大学辽宁省先进材料制备技术重点实验室	2	2	1.0	1.0
4	高建君	沈阳大学辽宁省先进材料制备技术重点实验室	3	5	2.0	2.0
5	王苓飞	沈阳大学辽宁省先进材料制备技术重点实验室	3	5	2.0	2.0
6	付馨莹	沈阳大学辽宁省先进材料制备技术重点实验室	1	2	1.0	1.0