石英微晶天平技术在原子层沉积碳化镍薄膜过程中的应用研究

• 作者: 刘忠伟 杨丽珍 樊启鹏 王正铎 王院民 胡玉莲 郭群
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 石英微晶天平 碳化镍 原子层沉积
• 年，卷（期）: 2018,（11）
• 所属期刊栏目: 结构薄膜
• 页码范围: 990-995
• 页数: 6页
• 分类号: TB34
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2018.11.13

摘要

采用等离子体增强原子层沉积技术分别以Ni(amd)2、Ni(dad)2为镍、碳前驱体,氢等离子体为还原剂成功沉积了碳化镍薄膜.两个沉积过程中,碳化镍薄膜厚度都随着反应循环次数的增加而线性增加.利用石英微晶天平技术对碳化镍薄膜的沉积过程进行了原位在线测量.初步提出碳化镍薄膜的沉积机理,其中由等离子体作用产生的氢原子对沉积过程有重要作用.一方面,在等离子体中原子氢与Ni (amd)2或Ni (dad)2发生化学反应,生成Ni、挥发性的N-叔丁基乙酰胺盐和碳氢化合物,这些镍在镍表面上有吸附和分解的趋势.此外,原子氢对吸附的碳氢化合物脱氢生成碳化镍和大量碳物种具有促进作用.另一方面,预计它还会刻蚀碳化镍表面的无定形碳和石墨,或者将碳化镍分解成具有催化活性的金属镍.