磁控溅射沉积CrAlN涂层抗高温氧化性能研究

• 作者: 尹凌鹏 王宇星
• 来源期刊: 铸造技术
• 学科: 工学
• 关键词: 磁控溅射 CrAlN涂层 高温氧化 力学性能
• 年，卷（期）: 2018,（5）
• 所属期刊栏目: 实用成型技术
• 页码范围: 1073-1075
• 页数: 3页
• 分类号: TG174
• 语种: 中文
• DOI: 10.16410/j.issn1000-8365.2018.05.034

摘要

采用非平衡磁控溅射技术在M2 工具钢表面沉积CrAlN 涂层,利用SEM、EDS、XRD、纳米压痕仪研究了 CrAlN 涂层不同温度氧化后的表面和截面形貌、成分、相结构、硬度和弹性模量.结果表明,CrAlN 涂层在高温环境下氧化生成的Al2O3和Cr2O3致密氧化层可以有效阻止氧进一步向内扩散, 涂层在900 ℃氧化2 h 后的氧化层深度仅 0.2 μm.CrAlN 涂层900℃氧化后仍基本保持氧化前的力学性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	尹凌鹏		13	14	2.0	3.0
2	王宇星		15	10	2.0	2.0