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多弧离子镀-磁控溅射复合技术制备TiCN薄膜的耐蚀性研究
多弧离子镀-磁控溅射复合技术制备TiCN薄膜的耐蚀性研究
作者:
任鑫
宋晓龙
张洋
张翀翊
王玮
赵瑞山
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
TiCN薄膜
多弧离子镀和磁控溅射技术
占空比
耐蚀性
摘要:
采用多弧离子镀-磁控溅射复合技术在AISI304不锈钢基体表面于Ar和N2混合气氛下共溅射钛靶和石墨靶制备了TiCN薄膜,研究了占空比对TiCN薄膜结构和在3.5%NaC1(质量分数)中耐蚀性的影响规律.结果表明:所沉积的TiCN薄膜表面光滑、均匀致密,主要形成具有Ti-(C,N)键的fcc-TiN型结构和少量的a-CNx化合物,并随着占空比的增加表现出(111)晶面择优取向.TiCN薄膜相比于基体表现出更好的耐蚀性能,且随着占空比的增大,薄膜的耐蚀性逐渐提高.当占空比为40%时,TiCN薄膜表现出最为优异的抗腐蚀性能,其自腐蚀电流密度(icorr)和极化电阻(Rp)分别为3.262×10-7 A·cm-2和238.4 kΩ·cm2.薄膜的阻抗谱显示腐蚀离子的渗透行为和局部腐蚀过程是影响电极体系腐蚀反应过程中的主要动力学因素,这与极化曲线的分析结果相一致.
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文献信息
篇名
多弧离子镀-磁控溅射复合技术制备TiCN薄膜的耐蚀性研究
来源期刊
稀有金属材料与工程
学科
关键词
TiCN薄膜
多弧离子镀和磁控溅射技术
占空比
耐蚀性
年,卷(期)
2018,(7)
所属期刊栏目
材料科学
研究方向
页码范围
2028-2036
页数
9页
分类号
字数
语种
中文
DOI
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
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G指数
1
任鑫
62
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王玮
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张洋
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赵瑞山
14
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宋晓龙
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TiCN薄膜
多弧离子镀和磁控溅射技术
占空比
耐蚀性
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研究来源
研究分支
研究去脉
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期刊影响力
稀有金属材料与工程
主办单位:
中国有色金属学会
中国材料研究学会
西北有色金属研究院
出版周期:
月刊
ISSN:
1002-185X
CN:
61-1154/TG
开本:
大16开
出版地:
西安市51号信箱
邮发代号:
52-172
创刊时间:
1970
语种:
chi
出版文献量(篇)
12492
总下载数(次)
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总被引数(次)
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