MPCVD类金刚石膜抗氧化和摩擦性能的研究

• 作者: 彭先 龚耀庭
• 来源期刊: 表面技术
• 学科: 工学
• 关键词: MPCVD DLC XPS 抗氧化 摩擦系数
• 年，卷（期）: 2018,（2）
• 所属期刊栏目: 表面摩擦磨损及润滑
• 页码范围: 136-143
• 页数: 8页
• 分类号: TG174.444
• 语种: 中文
• DOI: 10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2018.02.022

摘要

目的 研究MPCVD法制备的DLC膜的抗氧化和摩擦性能.方法 使用石英钟罩式MPCVD装置,在CH4-H2体系中,通过不同微波功率和沉积气压的正交实验,在载玻片上沉积DLC膜.通过X射线光电子能谱和拉曼光谱对DLC膜表面的化学组成进行测试分析,采用场发射扫描电镜对DLC膜的表面形貌进行观察分析,采用摩擦磨损仪对DLC膜的摩擦性能进行测试研究.结果 同一沉积气压下,IO1s/IC1s和sp2/sp3的比值随着微波功率的上升而下降;同一微波功率下,IO1s/IC1s和sp2/sp3的比值随着沉积气压的上升而上升.DLC膜的抗氧化性能随着sp2/sp3比值的下降而上升.场发射扫描电镜结果表明,微波功率由500W上升至700W时,DLC膜表面的团聚现象明显受到抑制,摩擦系数下降.当微波功率上升至900W时,DLC膜表面出现明显裂痕,摩擦系数上升.微波功率为700W、沉积气压为8.0 kPa时,可得到氧化性能较好、摩擦系数最低为0.14的DLC膜.结论 MPCVD法制备的DLC膜的抗氧化性能受sp2/sp3比值的影响,比值越低,抗氧化性能越好.摩擦性能同时受sp2/sp3比值和其表面粗糙度的影响,比值越小,表面越平整,摩擦系数越小.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	龚耀庭	武汉工程大学邮电与信息工程学院	8	9	2.0	3.0