硅外延片过渡区控制研究

• 作者: 冯丽华
• 来源期刊: 装饰装修天地
• 关键词: 硅外延 扩展电阻
• 年，卷（期）: 2018,（7）
• 所属期刊栏目: 城市建设
• 页码范围: 108
• 页数: 1页
• 字数: 699字
• 语种: 中文

摘要

主要对硅外延工艺中影响外延材料过渡区的因素进行了分析.从外延材料用衬底、HCl前抛光、赶气时间和对外延材料过渡区影响方面进行了重点研究,并采用不同衬底材料、工艺条件进行了对比试验,总结了制备外延材料时在过渡区控制影响的规律.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	冯丽华		1	0	0.0	0.0