全自动涂胶设备及涂胶工艺的研究

• 作者: 吕磊 周占福 艾博
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 涂胶腔体 机械手 涂胶工艺
• 年，卷（期）: 2019,（3）
• 所属期刊栏目: 先进封装技术与设备
• 页码范围: 56-59
• 页数: 4页
• 分类号: TN305
• 字数: 1415字
• 语种: 中文

摘要

涂胶作为光刻工艺的重要环节,为了保证涂胶工艺质量,提高涂胶设备的自动化程度,减少中间污染环节,开发了一种全自动涂胶设备,通过对涂胶腔体和机械手等关键部件的改进,更好地满足了用户生产线要求;并通过对涂胶工艺中影响膜厚均匀性的重要因素进行研究、实验和分析,得出了适合用户生产线的工艺配方.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周占福	中国电子科技集团公司第四十五研究所	4	0	0.0	0.0
2	吕磊	中国电子科技集团公司第四十五研究所	13	20	3.0	3.0
3	艾博	中国电子科技集团公司第四十五研究所	2	4	1.0	2.0