基于SIFT图像拼接算法的标准样板测量技术

• 作者: 程纪榕 蔡潇雨 赵军 邵力
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微纳米测量 图像拼接 标准样板 台阶高度标准 形貌重构
• 年，卷（期）: 2019,（1）
• 所属期刊栏目: 加工、测量与设备
• 页码范围: 71-77
• 页数: 7页
• 分类号: TP391
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2019.01.012

摘要

为了在使用高倍物镜测量标准样板时获得高分辨率的样本整体区域信息,提出了一种基于尺度不变特征变换(SIFT)图像拼接算法的标准样板测量技术.首先通过高倍物镜获取局部三维结构,将其转化为二维灰度图像;然后采用SIFT和RANSAC算法得到准确的特征点;最后采用加权平均融合算法得到完整图像,重构整体样板三维结构,并利用ISO 5436-1∶2000对标准样板台阶高度进行评价.实验对100和400 nm两种高度的标准样板进行了测量和拼接,并对拼接后的台阶高度进行评价,测量均值分别为100.3和398.9 nm,实验表明该技术能准确还原标准样板中台阶的高度,有效扩大了标准样板形貌重构的范围.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵军		87	315	10.0	14.0
2	邵力		15	23	2.0	4.0
3	蔡潇雨		11	37	4.0	5.0
4	程纪榕		1	2	1.0	1.0