单晶硅磨面倒圆专用磨床简介

• 作者: 徐公志 胡苗
• 来源期刊: 精密制造与自动化
• 关键词: 单晶硅 四平面 磨面倒角 磨床
• 年，卷（期）: 2019,（4）
• 所属期刊栏目: 工艺与装备
• 页码范围: 57-59
• 页数: 3页
• 字数: 2420字
• 语种: 中文

摘要

介绍了一种单晶硅专用磨床的基本布局,对加工单晶硅类零件机床内关键技术及主要部件做了重点说明.通过对单晶硅棒磨削工艺的研究、编辑磨削工艺和实现机床自动磨削等方法,证明了所采用的单晶硅磨面倒角磨床,可用于磨削单晶硅开方后的四平面和圆弧角,可以收到理想的效果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡苗		4	0	0.0	0.0
2	徐公志		4	0	0.0	0.0