InAs/GaAsSb带间级联中波红外焦平面研究

• 作者: 丁瑞军 何力 周易 徐志成 柴旭良 田源 白治中 许佳佳 陈建新 陈红雷 黄敏 黄爱波
• 来源期刊: 红外与毫米波学报
• 学科: 工学
• 关键词: 光电探测器 红外焦平面 带间级联结构 高工作温度
• 年，卷（期）: 2019,（6）
• 页码范围: 745-750
• 页数: 6页
• 分类号: TN304.2|TN305
• 字数: 2999字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11972/j.issn.1001-9014.2019.06.011

摘要

针对高工作温度红外探测器的迫切需求,设计并利用分子束外延技术制备了高晶格质量的2级带间级联中波红外探测材料,带间级联单元器件在最高323 K下可以测试到清晰的响应光谱,140 K下暗电流密度达到4×10-5 A/cm-2.并在此基础上利用干法刻蚀技术实现了320×256规模的台面型带间级联红外焦平面原型器件.焦平面测试结果表明其在80～120 K范围内量子效率达到30％,127 K下噪声等效温差为55.1 mK,盲元率为2.3％.采用该焦平面器件在127 K下获得了较为清晰的演示性室温目标红外热成像.