氮化复合DLC薄膜的制备和性能研究

• 作者: 于来洋 付丽艳 刘磊 李湘宁 李露 邓洪运 郭媛媛 黄振
• 来源期刊: 辽宁科技大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 类金刚石薄膜 相结构 结合力 摩擦学性能
• 年，卷（期）: 2019,（4）
• 所属期刊栏目: 材料科学与工程
• 页码范围: 255-259
• 页数: 5页
• 分类号: TG174.4
• 字数: 2652字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13988/j.ustl.2019.04.004

摘要

采用低温等离子体辅助氮化和等离子体增强化学气相沉积技术在316L奥氏体不锈钢表面制备氮化复合类金刚石薄膜.分别采用X射线衍射仪、拉曼光谱检测渗氮层和DLC薄膜成分及相结构,采用纳米压痕仪、划痕仪、摩擦磨损试验机测试薄膜的摩擦学性能.结果表明,在氮化处理的316L表面沉积DLC薄膜,氮化4 h时,可以显著提高其表面耐磨性,摩擦系数降低至0.1;经1 h氮化且无析出物时,DLC薄膜与基体间的结合力提高22％.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭媛媛	辽宁科技大学材料与冶金学院	16	7	2.0	2.0
2	刘磊	辽宁科技大学理学院	4	24	2.0	4.0
3	黄振	辽宁科技大学材料与冶金学院	3	0	0.0	0.0
4	邓洪运	辽宁科技大学材料与冶金学院	2	0	0.0	0.0
5	李湘宁		3	0	0.0	0.0
6	付丽艳	辽宁科技大学材料与冶金学院	1	0	0.0	0.0
7	李露	辽宁科技大学材料与冶金学院	1	0	0.0	0.0