利用3D打印技术制备Al2 O3微波无源器件

• 作者: 吕文中 李攀郁 楼熠辉 王飞 雷文
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: 3D打印 Al2O3 立体光固化成型 谐振器 滤波器
• 年，卷（期）: 2019,（10）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 44-48
• 页数: 5页
• 分类号: TN405
• 字数: 2658字
• 语种: 中文
• DOI: 10.14106/j.cnki.1001-2028.2019.10.009

摘要

以Al2 O3陶瓷粉为原料,采用立体光固化成型技术制备微波介质谐振器和滤波器;采用扫描电子显微镜(SEM)表征材料的形貌,用阿基米德排水法对材料致密度进行了测试,用平行板谐振法对谐振器微波性能进行测试;通过调控陶瓷膏料中有机成分(反应单体、 反应稀释剂、 分散剂、 光引发剂等)和无机成分(Al2 O3及其掺杂)的比例,对打印参数和烧结曲线进行控制,实现了Al2 O3谐振器成型精度的精确控制.结果表明:当激光器功率500 mW,扫描速率2500 mm/min,材料固含量60％(体积分数),脱脂温度600℃,排胶速率1℃/min,烧结温度1700℃时,可以实现97.5％的理论密度,相对介电常数9.8,Q·f值20184.25 GHz(f=12.11 GHz),满足实际应用需求.这为制备复杂结构的微波无源器件提供了新的潜在技术途径.