先进微陀螺器件及微惯性测量单元最新研究进展

• 作者: 何杰 朱玲瑞 朴继军 胡少勤 袁小平
• 来源期刊: 压电与声光
• 学科: 工学
• 关键词: 微纳加工技术 微陀螺 微半球谐振陀螺 微光学陀螺 声表面波(SAW)陀螺 微惯性测量单元
• 年，卷（期）: 2019,（3）
• 页码范围: 410-415
• 页数: 6页
• 分类号: TN65
• 字数: 6579字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11977/j.issn.1004-2474.2019.03.021

摘要

微纳加工技术与振动惯性技术的结合使惯性仪表技术发生了重大的变革,拓展了惯性技术在军用和民用领域的应用.高性能微惯性器件对军事装备和国民经济的发展起着越来越大的作用.该文基于美国国防高级研究计划局(DARPA)近年来在微惯性传感器技术领域的资助项目,综合研究了微机电系统(MEMS)谐振陀螺、微光学陀螺(MOG)、声表面波(SAW)陀螺等微惯性传感器技术及微惯性测量单元的最新发展现状,并对其发展面临的技术挑战进行了详细地分析与评述.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	袁小平	中国电子科技集团公司第二十六研究所	9	63	5.0	7.0
2	何杰	中国电子科技集团公司第二十六研究所	11	75	4.0	8.0
3	胡少勤	中国电子科技集团公司第二十六研究所	11	20	3.0	4.0
4	朴继军	中国电子科技集团公司第二十六研究所	1	2	1.0	1.0
5	朱玲瑞	中国电子科技集团公司第四十四研究所	1	2	1.0	1.0