涂层组分对磁控溅射制备Ti600合金表面Ti-Al-N涂层组织微观结构的影响

• 作者: 吴海江 周晓燕 宋恺心 李冬英 李梦奇 邹利华
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 磁控溅射 涂层组分 Ti-Al-N涂层 微观结构
• 年，卷（期）: 2019,（12）
• 所属期刊栏目: 结构薄膜
• 页码范围: 1130-1134
• 页数: 5页
• 分类号: TB37
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2019.12.14

摘要

以电弧复合磁控溅射沉积工艺在Ti600合金基体上沉积得到Ti-Al-N涂层,通过控制公转速度的方式来获得不同涂层组分,实验研究涂层组分对涂层组织微观结构的影响.研究结果表明:随着公转速度的增加,涂层内Ti/Al比表现出减小的变化.在涂层表面上形成了许多尺寸较大的颗粒与一些凹坑结构,较小Ti/Al比试样形成了少量的表面大颗粒,并得到致密组织结构.退火态和沉积态涂层形成了相近的表面形貌.涂层厚度发生了先升高后降低,2#试样达到了最大的沉积速率.随着深度的增加,Al,O元素的含量表现出先增加后降低的变化规律,在涂层6μm之后Ti和N元素含量得到明显的增加.当涂层内Ti/Al比例减小后,形成的Ti2AlN特征峰发生了先增大后降低的变化现象.为了提高Ti2AlN涂层的纯度与结晶度,应选择2#试样的制备工艺.