光刻机照明系统光瞳特性参数的评估算法

• 作者: 张方 朱思羽 杨宝喜 甘雨 黄惠杰 龚爽
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 物理学
• 关键词: 测量 光刻 光学设计 中继镜组 光瞳特性参数
• 年，卷（期）: 2019,（3）
• 所属期刊栏目: 测量与计量
• 页码范围: 198-204
• 页数: 7页
• 分类号: O439
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201946.0304007

摘要

针对光刻机照明系统的实际应用需求,提出了一种光瞳特性参数的评估算法.该算法通过对光瞳强度分布进行转换,可以在不同照明模式下同时计算光瞳椭圆度、X方向光瞳极平衡性、y方向光瞳极平衡性和四象限光瞳极平衡性等多种光瞳特性参数.以一种28 nm节点扫描光刻机照明系统的中继镜组为实例,对其在传统照明模式下进行光瞳特性参数计算分析.仿真结果显示,全视场光瞳椭圆度最大值为0.95％,X方向和y方向光瞳极平衡性最大值分别为0.18％和0.19％,四象限光瞳极平衡性最大值为0.66％,均满足28 nm节点扫描光刻机实际指标需求.所提算法在光学设计阶段能快速评估光瞳性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄惠杰	中国科学院上海光学精密机械研究所	69	544	13.0	23.0
2	杨宝喜	中国科学院上海光学精密机械研究所	17	1	1.0	1.0
3	张方	中国科学院上海光学精密机械研究所	17	138	5.0	11.0
4	朱思羽	中国科学院上海光学精密机械研究所	2	0	0.0	0.0
5	甘雨	中国科学院上海光学精密机械研究所	2	0	0.0	0.0
6	龚爽	中国科学院上海光学精密机械研究所	1	0	0.0	0.0