脉冲激光沉积法制备低阻掺镓氧化锌薄膜及其光电性能

• 作者: 何欢 刘宇伦 刘家辉 唐子媚 沈晓明 符跃春 莫观孔 邹卓良
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 物理学
• 关键词: 薄膜 脉冲激光沉积法 氧气分压 掺镓氧化锌薄膜 光学性质 电学性能
• 年，卷（期）: 2019,（10）
• 所属期刊栏目: 材料与薄膜
• 页码范围: 204-210
• 页数: 7页
• 分类号: O484
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201946.1003001

摘要

采用脉冲激光沉积法在玻璃衬底上沉积掺镓氧化锌(GZO)透明导电薄膜,使用X射线衍射仪、紫外可见分光光度仪、原子力电子显微镜和霍尔测试系统,研究了氧气分压对GZO薄膜晶体结构、微观形貌以及光电性能的影响.结果 表明:所有的样品都表现出六方纤锌矿结构,并具有高度的c轴择优取向生长;薄膜表面致密光滑,晶粒尺寸随氧气分压增大而先增大后减小,当氧气分压为0.5 Pa时,薄膜的结晶性最佳;沉积的GZO薄膜在可见光区域表现出高于91.97％的透过率,且禁带宽度在3.492～3.576 eV之间;随着氧气分压增大,载流子浓度与霍尔迁移率先增加后减小,电阻率先减小后增大,当氧气分压为0.5 Pa时,GZO薄膜的电阻率最低,为2.95×10-4 Ω·cm.