钛学术
文献服务平台
学术出版新技术应用与公共服务实验室出品
首页
论文降重
免费查重
学术期刊
学术导航
任务中心
论文润色
登录
文献导航
学科分类
>
综合
工业技术
科教文艺
医药卫生
基础科学
经济财经
社会科学
农业科学
哲学政法
社会科学II
哲学与人文科学
社会科学I
经济与管理科学
工程科技I
工程科技II
医药卫生科技
信息科技
农业科技
数据库索引
>
中国科学引文数据库
工程索引(美)
日本科学技术振兴机构数据库(日)
文摘杂志(俄)
科学文摘(英)
化学文摘(美)
中国科技论文统计与引文分析数据库
中文社会科学引文索引
科学引文索引(美)
中文核心期刊
cscd
ei
jst
aj
sa
ca
cstpcd
cssci
sci
cpku
默认
篇关摘
篇名
关键词
摘要
全文
作者
作者单位
基金
分类号
搜索文章
搜索思路
钛学术文献服务平台
\
学术期刊
\
基础科学期刊
\
物理学期刊
\
光学学报期刊
\
基于差分空间像主成分分析的偏振像差检测方法
基于差分空间像主成分分析的偏振像差检测方法
作者:
孟泽江
戴凤钊
李思坤
杨朝兴
步扬
王向朝
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
测量
光刻
偏振像差检测
泡利矩阵
主成分分析
摘要:
提出了一种原位的光刻机投影物镜偏振像差检测方法.定义一种新的偏振像差表征方法,推导了3对正交偏振态照明下空间像之差与偏振像差3个泡利项之间的互相关关系,并据此对交替相移掩模的3组差分空间像进行主成分分析进而求解偏振像差的各项泡利泽尼克系数.从理论上揭示了各偏振像差项在成像中的耦合规律,从而在测量原理上解决各项耦合问题,可同时测量偏振像差所有泡利项的前37阶泽尼克系数.在典型的深紫外光刻仿真条件下对所提方法进行随机偏振像差测试,其中3组泡利项的实部和虚部共6×37阶泡利泽尼克系数误差的标准差均在10-3量级.测试结果验证了本方法的正确性和可行性.
暂无资源
收藏
引用
分享
推荐文章
基于主成分分析的DEM粗差检测
数字高程模型
粗差分布
粗差率
主成分分析
基于显著性及主成分分析的红外小目标检测
红外小目标
目标检测
显著性检测
点扩散函数
主成分分析
基于改进核主成分分析的故障检测与诊断方法
改进核主成分分析
流形学习
费舍尔判别分析
故障检测
诊断
仿真实验
基于主成分分析的硬件木马检测方法
信息技术
硬件木马检测
侧信道分析
主成分分析
马氏距离
内容分析
文献信息
引文网络
相关学者/机构
相关基金
期刊文献
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数
(/次)
(/年)
文献信息
篇名
基于差分空间像主成分分析的偏振像差检测方法
来源期刊
光学学报
学科
工学
关键词
测量
光刻
偏振像差检测
泡利矩阵
主成分分析
年,卷(期)
2019,(7)
所属期刊栏目
仪器,测量与计量
研究方向
页码范围
150-158
页数
9页
分类号
TN305.7
字数
语种
中文
DOI
10.3788/AOS201939.0712006
五维指标
传播情况
被引次数趋势
(/次)
(/年)
引文网络
引文网络
二级参考文献
(2)
共引文献
(1)
参考文献
(8)
节点文献
引证文献
(0)
同被引文献
(0)
二级引证文献
(0)
1989(1)
参考文献(1)
二级参考文献(0)
1994(1)
参考文献(1)
二级参考文献(0)
2006(1)
参考文献(1)
二级参考文献(0)
2009(1)
参考文献(1)
二级参考文献(0)
2011(3)
参考文献(3)
二级参考文献(0)
2012(1)
参考文献(0)
二级参考文献(1)
2013(1)
参考文献(0)
二级参考文献(1)
2016(1)
参考文献(1)
二级参考文献(0)
2019(0)
参考文献(0)
二级参考文献(0)
引证文献(0)
二级引证文献(0)
研究主题发展历程
节点文献
测量
光刻
偏振像差检测
泡利矩阵
主成分分析
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
光学学报
主办单位:
中国光学学会
中国科学院上海光学精密机械研究所
出版周期:
半月刊
ISSN:
0253-2239
CN:
31-1252/O4
开本:
大16开
出版地:
上海市嘉定区清河路390号(上海800-211信箱)
邮发代号:
4-293
创刊时间:
1981
语种:
chi
出版文献量(篇)
11761
总下载数(次)
35
总被引数(次)
130170
期刊文献
相关文献
1.
基于主成分分析的DEM粗差检测
2.
基于显著性及主成分分析的红外小目标检测
3.
基于改进核主成分分析的故障检测与诊断方法
4.
基于主成分分析的硬件木马检测方法
5.
一种基于聚类和主成分分析的异常检测方法
6.
基于维纳滤波和主成分分析的脉冲涡流检测信号降噪方法
7.
基于状态空间主成分分析网络的故障检测方法
8.
基于主成分分析和核主成分分析的地震属性优化的研究
9.
基于PCA主成分分析的人脸检测实现与分析
10.
基于主成分分析的空间因子融合研究
11.
基于主成分分析和模糊综合的入侵检测
12.
主元余像集主成分分析在蛋白质质谱数据中的应用
13.
基于K均值多重主成分分析的App-DDoS检测方法
14.
主成分分析应用(Ⅰ)——主成分回归分析
15.
基于旋转主成分分析的颜色组分预测
推荐文献
钛学术
文献服务平台
学术出版新技术应用与公共服务实验室出品
首页
论文降重
免费查重
学术期刊
学术导航
任务中心
论文润色
登录
根据相关规定,获取原文需跳转至原文服务方进行注册认证身份信息
完成下面三个步骤操作后即可获取文献,阅读后请
点击下方页面【继续获取】按钮
钛学术
文献服务平台
学术出版新技术应用与公共服务实验室出品
原文合作方
继续获取
获取文献流程
1.访问原文合作方请等待几秒系统会自动跳转至登录页,首次访问请先注册账号,填写基本信息后,点击【注册】
2.注册后进行实名认证,实名认证成功后点击【返回】
3.检查邮箱地址是否正确,若错误或未填写请填写正确邮箱地址,点击【确认支付】完成获取,文献将在1小时内发送至您的邮箱
*若已注册过原文合作方账号的用户,可跳过上述操作,直接登录后获取原文即可
点击
【获取原文】
按钮,跳转至合作网站。
首次获取需要在合作网站
进行注册。
注册并实名认证,认证后点击
【返回】按钮。
确认邮箱信息,点击
【确认支付】
, 订单将在一小时内发送至您的邮箱。
*
若已经注册过合作网站账号,请忽略第二、三步,直接登录即可。
期刊分类
期刊(年)
期刊(期)
期刊推荐
力学
化学
地球物理学
地质学
基础科学综合
大学学报
天文学
天文学、地球科学
数学
气象学
海洋学
物理学
生物学
生物科学
自然地理学和测绘学
自然科学总论
自然科学理论与方法
资源科学
非线性科学与系统科学
光学学报2022
光学学报2021
光学学报2020
光学学报2019
光学学报2018
光学学报2017
光学学报2016
光学学报2015
光学学报2014
光学学报2013
光学学报2012
光学学报2011
光学学报2010
光学学报2009
光学学报2008
光学学报2007
光学学报2006
光学学报2005
光学学报2004
光学学报2003
光学学报2002
光学学报2001
光学学报2000
光学学报1999
光学学报2019年第9期
光学学报2019年第8期
光学学报2019年第7期
光学学报2019年第6期
光学学报2019年第5期
光学学报2019年第4期
光学学报2019年第3期
光学学报2019年第2期
光学学报2019年第12期
光学学报2019年第11期
光学学报2019年第10期
光学学报2019年第1期
关于我们
用户协议
隐私政策
知识产权保护
期刊导航
免费查重
论文知识
钛学术官网
按字母查找期刊:
A
B
C
D
E
F
G
H
I
J
K
L
M
N
O
P
Q
R
S
T
U
V
W
X
Y
Z
其他
联系合作 广告推广: shenyukuan@paperpass.com
京ICP备2021016839号
营业执照
版物经营许可证:新出发 京零 字第 朝220126号