石英MEMS传感器湿法刻蚀工艺及设备制造技术研究

• 作者: 张伟锋
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 石英MEMS传感器 石英晶体 各向异性湿法刻蚀
• 年，卷（期）: 2020,（2）
• 所属期刊栏目: 半导体制造工艺与设备
• 页码范围: 29-33
• 页数: 5页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 1806字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2020.02.007

摘要

简要介绍了石英MEMS传感器工作原理、敏感芯片结构及加工工艺,着重阐述了石英晶体各向异性刻蚀机理及湿法刻蚀工艺技术,针对影响湿法刻蚀石英晶体形貌结构的溶液浓度、溶液流场、反应气泡等因素,结合设备制造安全性重点论述了湿法刻蚀设备整机结构技术、溶液浓度控制技术、晶片转动控制技术等设备制造关键技术.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张伟锋	中国电子科技集团公司第四十五研究所	7	2	1.0	1.0