离子束溅射镀膜设备控制系统研究与设计

• 作者: 周波 罗超 胡凡 范江华 贺涛
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 离子束溅射 控制系统 温度控制 监控软件
• 年，卷（期）: 2020,（2）
• 所属期刊栏目: 半导体制造工艺与设备
• 页码范围: 15-20
• 页数: 6页
• 分类号: TN304.055
• 字数: 2387字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2020.02.004

摘要

离子束溅射镀膜机是半导体行业三大真空镀膜设备之一,广泛应用于传感器、微电子、光学薄膜和材料表面处理领域中.对离子束溅射镀膜设备结构和工艺进行研究,设计一套满足自动上下料、高精度温度控制、束流跟随控制的控制系统,介绍控制系统下位机PLC和上位机监控软件设计思路,并给出相关软件设计流程图.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周波	中国电子科技集团公司第四十八研究所	10	12	3.0	3.0
2	罗超	中国电子科技集团公司第四十八研究所	7	2	1.0	1.0
3	胡凡	中国电子科技集团公司第四十八研究所	4	5	2.0	2.0
4	范江华	中国电子科技集团公司第四十八研究所	3	2	1.0	1.0
5	贺涛	中国电子科技集团公司第四十八研究所	1	0	0.0	0.0