基于barber电极的线性磁阻传感器的自偏置效应研究

• 作者: 余涛 张万里 张文旭 朱宇轩 杨华
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: barber电极 有限元仿真 自偏置效应 线性磁阻传感器
• 年，卷（期）: 2020,（8）
• 所属期刊栏目: 新型传感材料与器件专题
• 页码范围: 19-26
• 页数: 8页
• 分类号: TP212.1
• 字数: 4588字
• 语种: 中文
• DOI: 10.14106/j.cnki.1001-2028.2020.0139

摘要

通过电磁学有限元模型,对barber电极偏置的线性各向异性磁阻传感单元的电流和磁场分布进行了仿真计算,研究了磁阻单元中电流产生的纵向和横向磁场对传感器的自偏置效应.数值仿真结果表明,电流为1 mA时产生的横向自偏置磁场约8 A/m.同时,制备了差分输出的磁阻桥,获得了随磁场线性输出的电压,器件的灵敏度约为5.6 mV·V-1·(A/m)-1,线性度优于1.3％.同时,外磁场方向电流为1 mA时,自偏置磁场大小为8～84 A/m,该值大小强烈依赖于电极角度,与理论仿真结果趋势基本一致.研究结果有助于进一步优化线性磁阻传感器,获得高性能的传感器件.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张万里	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	142	705	13.0	17.0
2	张文旭	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	35	302	9.0	16.0
3	朱宇轩	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	1	0	0.0	0.0
4	余涛		1	0	0.0	0.0
5	杨华		2	0	0.0	0.0