磁控溅射法制备Al2O3复合高铝玻璃薄膜

• 作者: 万法琦 姜宏 文峰 贺建雄 马艳平 鲍思思
• 来源期刊: 材料科学与工程学报
• 学科: 工学
• 关键词: 高铝玻璃 磁控溅射 氧化铝
• 年，卷（期）: 2020,（4）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 619-624
• 页数: 6页
• 分类号: TB34
• 字数: 4186字
• 语种: 中文
• DOI: 10.14136/j.cnki.issn1673-2812.2020.04.018

摘要

采用磁控溅射法,创新性地以高铝玻璃和Al2O3为靶材,制备了Al2O3复合高铝玻璃薄膜.利用多种技术手段对薄膜的表面形貌、结构及成分进行分析和表征.结果表明,在Al2O3靶功率为120W,其他条件不变的情况下,所制备的薄膜综合性能最优.此外,对薄膜的硬度及可见光透过率进行了测试,测试结果表明薄膜的纳米硬度可达18GPa以上,同时保持了高于85％的良好可见光透过率.