KLA针对先进封装发布增强系统组合新设备采用AI解决方案以提高良率和质量并推动半导体封装创新

• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 年，卷（期）: 2020,（5）
• 所属期刊栏目: 业界要闻
• 页码范围: 79-80
• 页数: 2页
• 语种: 中文

摘要

KLA公司宣布推出KronosTM 1190晶圆级封装检测系统、ICOSTM F160XP芯片分拣和检测系统以及下一代的ICOSTM T3 / T7系列封装集成电路(IC)组件检测及量测系统.这些新系统具有更高的灵敏度和产量,并包含下一代增强算法,旨在应对特征尺寸缩小、3D结构和异构集成所带来的复杂性,从而在封装阶段推进半导体元件制造.凭借更可靠地实施这些先进封装技术,KLA的客户将无需依赖缩小硅设计节点就能够提高产品性能.该产品组合的性能提升将提供良率和质量保证,帮助客户进一步拓展其技术和成本蓝图.