基于正交试验和ε-SVR的激光铣削微锥体误差预测

• 作者: 邵琰杰 陈扬枝 谢雄敦 肖小平
• 来源期刊: 应用激光
• 关键词: 激光铣削 加工预测 支持向量回归 形状误差 微加工
• 年，卷（期）: 2020,（4）
• 页码范围: 730-734
• 页数: 5页
• 分类号: V261.8
• 语种: 中文
• DOI: 10.14128/j.cnki.al.20204004.730

摘要

本文采用纳秒脉冲激光铣削方法对尺寸小于1 000μm,特征尺寸小于100 μm的微锥体进行加工,激光铣削过程中脉冲激光与材料相互作用复杂,因此加工结果难以预测.本文首次以微圆锥的形状误差为预测目标,包括锥角误差(ATa)、直径误差(TDS)和对称性误差(ES),首先采用正交试验对显著影响加工结果的参数进行选择,然后利用采用不敏感损失函数的支持向量回归机(ε-SVR)建立激光微烧蚀加工预测模型,并且根据参数对预测结果的影响对参数进行择优选取,实验结果表明,较优参数的ε-SVR模型预测得到ATα=3.8°,TDS=5.35 μm,Es=1.15μm.因此,ε-SVR适用于激光铣削加工微锥的误差预测,并对激光铣削加工其他微三维结构提供了参考.