肖特基型β-Ga2O3日盲紫外光电探测器

• 作者: 张保花 杨莲红 郭福强 陈敦军
• 来源期刊: 电子学报
• 学科: 工学
• 关键词: 肖特基 β-Ga2O3 日盲紫外光电探测器
• 年，卷（期）: 2020,（6）
• 所属期刊栏目: 科研通信
• 页码范围: 1240-1243
• 页数: 4页
• 分类号: TL814
• 字数: 2414字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0372-2112.2020.06.027

摘要

本文制备并研究了肖特基型β-Ga2O3日盲紫外光电探测器.结果表明:通过脉冲激光沉积外延生长的β-Ga2O3的(-201)晶面X射线衍射峰半高宽仅为36 arcsec,表现出了高的晶体质量;光暗条件下的I-V曲线显示所制备的器件具有明显的肖特基整流特性,在-5V偏压下暗电流保持在0.1nA量级,正向导通电压为1.5V;光电流谱显示器件在240nm处存在显著的峰值响应,并在260nm左右呈现陡峭的截止边,日盲紫外的带内带外抑制比达到1000.同时,也研究了不同掺杂对Ga2O3晶体质量的影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨莲红	昌吉学院物理系	33	79	6.0	7.0
2	陈敦军	南京大学电子科学与工程学院	17	44	3.0	5.0
3	张保花	昌吉学院物理系	27	55	4.0	5.0
4	郭福强	昌吉学院物理系	21	49	4.0	5.0