超导横向磁场在大尺寸半导体级单晶硅长晶中的应用

• 作者: 穆童
• 来源期刊: 时代农机
• 关键词: 半导体 单晶硅 实验
• 年，卷（期）: 2020,（3）
• 所属期刊栏目: 机电设计与研究
• 页码范围: 91-92
• 页数: 2页
• 字数: 1722字
• 语种: 中文

摘要

随着半导体行业的发展,传统的Cusp磁场(勾型磁场)由于其耗能大,磁场强度低(<1000GS)等特点,难以适用于大尺寸晶体的长晶需求.超导横向磁场,由于其采用超导材料,在低温下,磁场线圈电阻为0,即使磁场电流增大也不会产生发热,能到产生非常强的磁场强度(>4000GS),能够有效抑制硅液的纵向流动,对提高长晶的成功率,降低晶体的氧含量有着显著的作用.通过实验,采用超导磁场用于32寸坩埚长晶,能够将晶体氧含量降低到5*1017atom/cc,能够有效降低氧含量,提高晶体质量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	穆童		1	0	0.0	0.0