铝掺杂氧化锌薄膜晶体管研究发展现状

• 作者: 李东茂 王冶 王超
• 来源期刊: 科学技术创新
• 学科: 工学
• 关键词: 铝掺杂氧化锌 薄膜晶体管 有源层
• 年，卷（期）: 2020,（26）
• 所属期刊栏目: 科技创新
• 页码范围: 73-75
• 页数: 3页
• 分类号: TN321.5
• 字数: 4226字
• 语种: 中文

摘要

通过检索近年来关于铝掺杂氧化锌薄膜晶体管(AZO-TFT)的相关文献,对文献进行研究综述.作为铟镓锌氧化物薄膜晶体管(IGZO-TFT)的替代方案,AZO-TFT近年来引起关注.文中阐述了不同的制备铝掺杂氧化锌薄膜晶体管的(AZO-TFT)有源层的方法,以期对今后的研究工作提供参考.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王超	吉林建筑大学电气与计算机学院	37	82	4.0	8.0
2	王冶	吉林建筑大学电气与计算机学院	1	0	0.0	0.0
3	李东茂	吉林建筑大学电气与计算机学院	1	0	0.0	0.0