以金属无机盐Sncl2·2H2O、Alcl3·6H2O、Cucl2·2H2O、Mncl2·4H2O和无水乙醇作为原始材料,运用溶胶-凝胶法在普通玻璃基底上制备未掺杂以及掺杂Al、Cu、Mn的SnO2透明导电薄膜.论文重点研究了不同的掺杂离子类型、离子掺杂浓度以及热处理温度对S n O2薄膜光电性能的影响.结果表明,未掺杂S n O2薄膜在可见光范围可达到90%的透光率,但随着掺杂浓度及热处理温度的升高,透光率逐渐减小.电学测试显示,掺杂下的S n O2薄膜比相同条件下的未掺杂样品具有更好的导电性能.