钨表面激光处理对金刚石膜附着力的影响

• 作者: 黄逸豪 马志斌
• 来源期刊: 金刚石与磨料磨具工程
• 学科: 工学
• 关键词: MPCVD 金刚石膜 附着力 钨
• 年，卷（期）: 2021,（1）
• 页码范围: 17-20
• 页数: 4页
• 分类号: TQ164
• 语种: 中文
• DOI: 10.13394/j.cnki.jgszz.2021.1.0003

摘要

利用微波等离子体化学气相沉积法(MPCVD),在CH4/H2体系下沉积金刚石膜,通过发射光谱仪测量等离子体参数,结合Raman光谱仪测量金刚石膜的内应力,用SEM测试金刚石膜的表面以及断面形貌,通过热震试验来探究钨表面激光处理对金刚石膜附着力的影响.结果表明:钨片表面激光处理能释放金刚石膜的应力,增强钨片与金刚石膜的附着力;在确保钨与金刚石膜附着力得到极大提高与钨片表面损伤尽量小的前提下,钨片表面切割深度在0.035 mm时较合适.