自动对准定位算法技术在探针设备中的应用研究

• 作者: 刘国敬 梁津 张文斌 刘婷婷
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 模版匹配 图像自动对准 图像自动定位
• 年，卷（期）: 2021,（1）
• 所属期刊栏目: 测试·测量技术与设备
• 页码范围: 20-23
• 页数: 4页
• 分类号: TN271
• 语种: 中文

摘要

论述了数字图像处理技术在全自动探针测试设备中的应用,介绍了图像处理中模板匹配算法原理以及晶圆自动对准定位技术的原理与实现手段.该算法能够完成晶圆片自动对准和晶圆启测测试芯粒自动定位,为探针设备的精确快速测试提供了可靠性保障.