提高二维工作台定位精度的误差补偿方法研究

• 作者: 徐品烈 田利忠 种宝春 常亮 赵玉民 孙莉莉
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 水平分割法 误差补偿 定位精度
• 年，卷（期）: 2021,（1）
• 所属期刊栏目: 电子专用设备研究
• 页码范围: 38-41
• 页数: 4页
• 分类号: TH161+.2
• 语种: 中文

摘要

通过测量二维工作台XY轴直线度误差、垂直度误差、定位精度误差等,采用水平分割法对误差线性拟合,分析了每种误差对单轴定位精度和关联轴定位精度的影响,这种补偿方法能够有效地提高二维工作台的定位精度.