指数比率局部保持投影健康状态监控方法及其半导体蚀刻过程应用

• 作者: 张成 郭青秀 李元
• 来源期刊: 沈阳化工大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 指数比率 局部保持投影 半导体蚀刻过程 k近邻规则
• 年，卷（期）: 2021,（4）
• 所属期刊栏目: 信息与计算机工程|Information and Computer Engineering
• 页码范围: 366-373
• 页数: 8页
• 分类号: TP277
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.2095-2198.2021.04.013

摘要

针对局部保持投影在监控半导体蚀刻过程时T2统计量的缺陷,提出指数比率局部保持投影健康状态监控方法(exponential ratio locality preserving projections health monitoring method,ERLPP).将半导体数据通过统计模量方法展开为二维数据,利用局部保持投影将展开后数据投影到特征空间,首先确定特征空间中样本的第k近邻,称其为一步近邻;再确定第k近邻的前K近邻集,称其为二步近邻;最后通过一步近邻与二步近邻的指数比值运算构造统计量P.ERLPP方法不仅可以消除样本统计值的多模态特征并提高过程故障检测率,同时还可以在保持数据流形结构的前提下降低计算复杂度.通过数值例子与半导体蚀刻过程的仿真实验,并与主元分析、局部保持投影、邻域保持嵌入、k近邻规则等方法进行比较,测试结果验证了ERLPP方法的有效性.