衬底温度对电子束沉积ZnSe薄膜性能影响研究

• 作者: 赵广宇 徐莉 范杰 张家斌 兰云萍 邹永刚 马晓辉
• 来源期刊: 光子学报
• 关键词: ZnSe薄膜 衬底温度 电子束蒸发 微观结构 光学特性
• 年，卷（期）: 2021,（6）
• 所属期刊栏目: 薄膜|Thin Films
• 页码范围: 209-216
• 页数: 8页
• 分类号: O484.4
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/gzxb20215006.0631001

摘要

为了研究衬底温度对硒化锌薄膜微观结构和光学特性的影响,采用电子束蒸发技术在K9玻璃基底上制备了单层的硒化锌薄膜.通过研究薄膜的X射线衍射谱、透射光谱特性、表面形貌及粗糙度,分析了不同衬底温度下薄膜微观晶体结构和光学特性的变化规律.实验结果表明:在20～200℃的衬底温度范围内制备的ZnSe薄膜均为具有(111)晶面择优取向的纳米晶薄膜,随着衬底温度升高,基片上原子获得的动能增加,导致薄膜的晶粒尺寸变大、内应力和位错密度降低;同样在不同衬底温度下,薄膜的光学特性也不尽相同,随着衬底温度的升高,折射率和消光系数减小、光学带隙增加、薄膜的表面粗糙度降低.分析表明折射率下降是薄膜中空隙部分所占比例增加所致,而消光系数的下降是薄膜结晶度提高,内部缺陷减少造成的.