纳米压印技术及发展

• 作者: 周雪 白玲 邢勇 代晓南
• 来源期刊: 信息记录材料
• 关键词: 纳米压印技术 纳米结构 批量复制
• 年，卷（期）: 2021,（5）
• 所属期刊栏目: 材料:生产与工艺
• 页码范围: 32-35
• 页数: 4页
• 分类号: TB5
• 语种: 中文

摘要

微纳米加工技术作为一种典型的先进制造技术,通过压模的方法来实现纳米结构的批量复制,在小型甚至微型元器件、微型芯片及生物传感器的制造、批量化生产中具有不可取代的作用.纳米压印技术不仅具有较低的成本、较高的分辨率及生产效率,而且拥有良好的兼容性与继承性、制造工艺方便等特点.文章对纳米压印的三种常用技术进行了简述,同时列举了一些新型纳米压印的方法,还概括了纳米压印技术面临的挑战,并对该技术的研究现状及应用进行了综述.