外延Ba0.5Sr0.5TiO3薄膜铁电介电性能的厚度依赖性研究

• 作者: 张宪贵 杨文华 李佳欣 郭栩利
• 来源期刊: 中国金属通报
• 学科: 物理学
• 关键词: 铁电薄膜 厚度 调谐率
• 年，卷（期）: 2021,（23）
• 所属期刊栏目: 管理及其他
• 页码范围: 116-118
• 页数: 3页
• 分类号: O469
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-1667.2021.23.039

摘要

基于含时Ginzburg-Landau-Devonshire理论,定性研究了Ba0.5Sr0.5TiO3外延薄膜铁电和介电性能的厚度依赖性.结果表明:随厚度增加,面外剩余极化和矫顽场均呈先增加后减小趋势,且在临界厚度(～19.6 nm)处达到最大值(分别为～0.28 C/m2和448.56 kV/cm),而介电常数和调谐率则均呈先增加后减小再增加的趋势,并在临界厚度处最小(分别为～137.7和35.7％).通过厚度优化,发现200nm薄膜可获得～97.2％高调谐率,这归因于铁电相变附近介电常数的突变所致..